Nos kits permettent un étalonnage précis des microscopes hyperfréquence à balayage.
L’appareil est constitué de différents tampons en or reposant sur des marches en oxyde de silicium de différentes hauteurs, composées de 208 locus de 4 étalons.
- Métallisation de la partie arrière (Ti/Au)
- Contacts frontaux des faisceaux métallisation plaquettes circulaires en or (diamètre : 6μm, 4μm, 2μm, 1μm) bi-couches, Ti /Au. L’Au rend la zone de contact plus indépendante de la forme exacte de la pointe et donc plus fiable sans problème d’oxydation.
- Kit de calibrage indiqué sur l’onglet magnétique
Informations sur le support
- Silicium (1-0-0) type P
- L’épaisseur : 325-375µm
- Résistivité : 0,01-3 Ohm.cm
Un article scientifique paru dans le journal “Nanomaterials” réalisé par notre partenaire du LNE (Laboratoire national de métrologie et d’essais) analyse l’intérêt des échantillons de calibrage réalisés par notre société pour l’étalonnage et la quantification des mesures électriques de capacités et de constantes diélectriques à l’échelle nanométrique en régime hyperfréquence à l’aide du SMM. Il est consultable ici
